1. Definición del sistema de gas a granel:
Almacenamiento y control de presión de gases inertes Tipos de gases: Gases inertes típicos (nitrógeno, argón, aire comprimido, etc.)
Tamaño de la tubería: desde 1/4 (tubería de monitoreo) hasta tubería principal de 12 pulgadas
Los principales productos del sistema son: válvula de diafragma/válvula de fuelle/válvula de bola, conector de alta pureza (VCR, forma de soldadura), conector de férula, válvula reguladora de presión, manómetro, etc.
Actualmente, el nuevo sistema también incluye un sistema de gas especial a granel, que utiliza cilindros de gas fijos o camiones cisterna para su almacenamiento y transporte.
2. Definición del sistema de purificación:
Eliminación de impurezas de gases a granel para gasoductos de alta pureza
3. Definición de gabinetes de gas:
Proporcionar control de presión y monitoreo de flujo para fuentes de gases especiales (gases tóxicos, inflamables, reactivos y corrosivos) y tener la capacidad de reemplazar cilindros de gas.
Ubicación: Ubicado en el piso sub-fabricado o en el piso inferior para almacenamiento de gases especiales Fuente: NF3, SF6, WF6, etc.
Tamaño de la tubería: Tubería de gas interna, generalmente 1/4 de pulgada para tubería de proceso, 1/4-3/8 de pulgada principalmente para tubería de purga de nitrógeno de alta pureza.
Productos principales: Válvulas de diafragma de alta pureza, válvulas de retención, manómetros, manómetros, conectores de alta pureza (VCR, forma de soldadura) Estos gabinetes de gas básicamente contienen capacidades de conmutación automática para cilindros para garantizar un suministro continuo de gas y un reemplazo seguro de cilindros.
4. Definición de distribución:
Conexión de la fuente de gas a la bobina de recolección de gas
Tamaño de la línea: En la fábrica de chips, el tamaño de la tubería de distribución de gas a granel generalmente varía entre 1/2 pulgada y 2 pulgadas.
Forma de conexión: Las tuberías de gas especiales generalmente se conectan mediante soldadura, sin ninguna conexión mecánica u otras partes móviles, principalmente porque la conexión de soldadura tiene una fuerte confiabilidad de sellado.
En una fábrica de chips, hay cientos de kilómetros de tuberías conectadas para transmitir gas, que miden aproximadamente 6 metros de largo y están soldadas entre sí. Algunas curvas y conexiones de soldadura tubular también son muy comunes.
5. Caja de válvulas multifunción (caja de colector de válvulas, VMB) Definición:
Sirve para distribuir gases especiales desde la fuente de gas a los diferentes extremos del equipo.
Tamaño de la tubería interna: tubería de proceso de 1/4 de pulgada y tubería de purga de 1/4 a 3/8 de pulgada. El sistema puede controlarse por computadora para requerir válvulas accionadas o, en situaciones de menor costo, válvulas manuales.
Productos del sistema: válvulas de diafragma/fuelle de alta pureza, válvulas de retención, juntas de alta pureza (VCR, forma de microsoldadura), válvulas reguladoras de presión, manómetros y manómetros, etc. Para la distribución de algunos gases inertes, se utiliza principalmente el Panel de colector de válvulas - VMP (disco de válvula multifunción), que tiene una superficie de disco de gas abierta y no requiere un diseño de espacio cerrado ni purga de nitrógeno adicional.
6. Placa/caja de válvulas secundarias (panel de conexión de herramientas) Definición:
Conecte el gas requerido por el equipo semiconductor desde la fuente de gas hasta el extremo del equipo y proporcione la regulación de presión correspondiente. Este panel es un sistema de control de gas que se encuentra más cerca del extremo del equipo que la VMB (caja de válvulas multifunción).
Tamaño de la tubería de gas: 1/4 - 3/8 de pulgada
Tamaño de la tubería de líquido: 1/2 - 1 pulgada
Tamaño de la tubería de descarga: 1/2 - 1 pulgada
Productos principales: válvula de diafragma / válvula de fuelle, válvula unidireccional, válvula reguladora de presión, manómetro, manómetro, junta de alta pureza (VCR, microsoldadura), junta de férula, válvula de bola, manguera, etc.
Hora de publicación: 22 de noviembre de 2024