As semiconductory las tecnologías microelectrónicas evolucionan hacia un mayor rendimiento y una mayor integración, se imponen mayores exigencias a la pureza de los gases especiales para electrónica. La tecnología de tuberías de gas de alta pureza es una parte importante del sistema de suministro de gas de alta pureza. Es la tecnología clave para entregar gases de alta pureza que cumplan con los requisitos a los puntos de uso de gas y al mismo tiempo mantengan una calidad calificada.
La tecnología de tuberías de alta pureza incluye el diseño correcto del sistema, la selección de accesorios de tubería y materiales auxiliares, construcción e instalación y pruebas.
01Concepto general de tuberías de transmisión de gas.
Todos los gases de alta pureza y alta limpieza deben transportarse al punto terminal de gas a través de tuberías. Para cumplir con los requisitos de calidad del proceso del gas, cuando el índice de exportación de gas es seguro, es más necesario prestar atención a la selección de materiales y la calidad de construcción del sistema de tuberías. Además de la precisión del equipo de producción o purificación de gas, ésta se ve afectada en gran medida por muchos factores del sistema de tuberías. Por lo tanto, la selección de tuberías debe cumplir con los principios relevantes de la industria de purificación y marcar el material de las tuberías en los dibujos.
02La importancia de los gasoductos de alta pureza en el transporte de gas
La importancia de los gasoductos de alta pureza en el transporte de gas de alta pureza Durante el proceso de fundición del acero inoxidable, cada tonelada puede absorber unos 200 g de gas. Una vez procesado el acero inoxidable, no sólo quedan adheridos a su superficie diversos contaminantes, sino que también se absorbe una cierta cantidad de gas en su red metálica. Cuando hay un flujo de aire que pasa a través de la tubería, la parte del gas absorbido por el metal volverá a entrar en el flujo de aire y contaminará el gas puro.
Cuando el flujo de aire en la tubería es discontinuo, la tubería forma una adsorción de presión en el gas que la atraviesa. Cuando el flujo de aire deja de pasar, el gas adsorbido por la tubería forma un análisis de reducción de presión y el gas analizado también ingresa al gas puro en la tubería como una impureza.
Al mismo tiempo, el ciclo de adsorción y análisis hará que el metal de la superficie interior de la tubería produzca una cierta cantidad de polvo. Esta partícula de polvo metálico también contamina el gas puro en la tubería. Esta característica de la tubería es muy importante. Para garantizar la pureza del gas transportado, no sólo se requiere que la superficie interior del tubo tenga una suavidad extremadamente alta, sino también que tenga una alta resistencia al desgaste.
Cuando el gas tiene fuertes propiedades corrosivas, se deben utilizar tuberías de acero inoxidable resistentes a la corrosión para las tuberías. De lo contrario, aparecerán manchas de corrosión en la superficie interior de la tubería debido a la corrosión. En casos graves, grandes trozos de metal se desprenderán o incluso se perforarán, contaminando así el gas puro que se transporta.
03Material de la tubería
La selección del material de la tubería debe seleccionarse de acuerdo con las necesidades de uso. La calidad de la tubería generalmente se mide según la rugosidad de la superficie interior de la tubería. Cuanto menor sea la rugosidad, es menos probable que transporte partículas. Generalmente dividido en tres tipos:
uno esTubería 316L de grado EP, que ha sido pulido electrolíticamente (Electro-Polish). Es resistente a la corrosión y tiene baja rugosidad superficial. Rmax (altura máxima de pico a valle) es de aproximadamente 0,3 μm o menos. Tiene la mayor planitud y no es fácil formar microcorrientes parásitas. Retire las partículas contaminadas. El gas de reacción utilizado en el proceso debería conducirse a este nivel.
uno es unGrado BA 316Ltubería, que ha sido tratada por Bright Anneal y se usa a menudo para gases que están en contacto con el chip pero que no participan en la reacción del proceso, como GN2 y CDA. Una es la tubería AP (Annealing & Picking), que no recibe un tratamiento especial y generalmente se usa para juegos dobles de tuberías exteriores que no se usan como líneas de suministro de gas.
04 Construcción de tuberías
El procesamiento de la boca del tubo es uno de los puntos clave de esta tecnología constructiva. El corte y la prefabricación de la tubería se llevan a cabo en un ambiente limpio y, al mismo tiempo, se garantiza que no queden marcas dañinas ni daños en la superficie de la tubería antes del corte. Se deben realizar preparativos para el lavado de nitrógeno en la tubería antes de abrir la tubería. En principio, la soldadura se utiliza para conectar tuberías de transmisión y distribución de gas de alta pureza y alta limpieza con gran flujo, pero no se permite la soldadura directa. Se deben utilizar juntas de carcasa y se requiere que el material de tubería utilizado no tenga cambios en la estructura durante la soldadura. Si se suelda material con un contenido de carbono demasiado alto, la permeabilidad al aire de la pieza de soldadura hará que el gas dentro y fuera de la tubería penetre entre sí, destruyendo la pureza, sequedad y limpieza del gas transportador, lo que tendrá graves consecuencias. y afectar la calidad de la producción.
En resumen, para gas de alta pureza y tuberías de transmisión de gas especiales, se debe utilizar una tubería de acero inoxidable de alta pureza con un tratamiento especial, lo que hace que el sistema de tuberías de alta pureza (incluidas tuberías, accesorios de tubería, válvulas, VMB, VMP) ocupe un misión vital en la distribución de gas de alta pureza.
Hora de publicación: 26 de noviembre de 2024