As semiconductorA medida que las tecnologías microelectrónicas evolucionan hacia un mayor rendimiento e integración, se imponen mayores exigencias a la pureza de los gases especiales electrónicos. La tecnología de tuberías de gas de alta pureza es un componente importante del sistema de suministro de gas de alta pureza. Es la tecnología clave para suministrar gases de alta pureza que cumplen con los requisitos en los puntos de uso, manteniendo al mismo tiempo una calidad calificada.
La tecnología de tuberías de alta pureza incluye el diseño correcto del sistema, la selección de accesorios de tubería y materiales auxiliares, la construcción, instalación y pruebas.
01Concepto general de tuberías de transmisión de gas
Todos los gases de alta pureza y limpieza deben transportarse a la terminal de gas mediante tuberías. Para cumplir con los requisitos de calidad del proceso de gas, cuando el índice de exportación de gas es seguro, es fundamental prestar especial atención a la selección de materiales y la calidad de construcción del sistema de tuberías. Además de la precisión del equipo de producción o purificación de gas, esta se ve afectada en gran medida por numerosos factores del sistema de tuberías. Por lo tanto, la selección de tuberías debe cumplir con los principios pertinentes de la industria de la purificación e indicar el material de las tuberías en los planos.
02La importancia de los ductos de alta pureza en el transporte de gas
La importancia de las tuberías de alta pureza en el transporte de gas de alta pureza. Durante el proceso de fundición de acero inoxidable, cada tonelada puede absorber aproximadamente 200 g de gas. Tras su procesamiento, el acero inoxidable no solo se adhiere a su superficie con diversos contaminantes, sino que también absorbe cierta cantidad de gas en su estructura metálica. Cuando circula aire por la tubería, la parte del gas absorbido por el metal reingresa al flujo de aire y contamina el gas puro.
Cuando el flujo de aire en la tubería es discontinuo, esta adsorbe el gas que la atraviesa. Cuando el flujo de aire se detiene, el gas adsorbido por la tubería genera un análisis de reducción de presión, y el gas analizado también entra en el gas puro de la tubería como impureza.
Al mismo tiempo, el ciclo de adsorción y análisis hará que el metal de la superficie interior de la tubería produzca cierta cantidad de polvo. Este polvo metálico también contamina el gas puro de la tubería. Esta característica de la tubería es fundamental. Para garantizar la pureza del gas transportado, se requiere que la superficie interior de la tubería tenga una suavidad excepcional, además de una alta resistencia al desgaste.
Cuando el gas presenta fuertes propiedades corrosivas, se deben utilizar tuberías de acero inoxidable resistentes a la corrosión. De lo contrario, se formarán manchas de corrosión en la superficie interior de la tubería. En casos graves, grandes trozos de metal se desprenderán o incluso perforarán, contaminando así el gas puro transportado.
03Material de la tubería
La selección del material de la tubería debe realizarse según las necesidades de uso. La calidad de la tubería generalmente se mide según la rugosidad de su superficie interior. Cuanto menor sea la rugosidad, menor será la probabilidad de que transporte partículas. Generalmente se dividen en tres tipos:
Uno esTubería de grado EP 316L, que ha sido pulido electrolíticamente (electropulido). Es resistente a la corrosión y presenta baja rugosidad superficial. La Rmáx (altura máxima de pico a valle) es de aproximadamente 0,3 μm o menos. Presenta la mayor planitud y no es fácil que se formen microcorrientes de Foucault. Elimine las partículas contaminadas. El gas de reacción utilizado en el proceso debe canalizarse a este nivel.
Uno es unGrado BA 316LLa tubería, tratada con recocido brillante, se utiliza a menudo para gases que están en contacto con la viruta, pero que no participan en la reacción del proceso, como GN2 y CDA. La tubería AP (recocido y decapado) no recibe un tratamiento especial y se utiliza generalmente para conjuntos dobles de tuberías exteriores que no se utilizan como líneas de suministro de gas.
04 Construcción de tuberías
El procesamiento de la boca de la tubería es uno de los puntos clave de esta tecnología de construcción. El corte y la prefabricación de la tubería se realizan en un entorno limpio, garantizando al mismo tiempo la ausencia de marcas o daños en la superficie de la tubería antes del corte. Antes de abrir la tubería, se deben realizar los preparativos para la purga de nitrógeno. En principio, se utiliza soldadura para conectar tuberías de transmisión y distribución de gas de alta pureza y alta limpieza con gran caudal, pero no se permite la soldadura directa. Se deben utilizar juntas de revestimiento y el material de la tubería debe mantener su estructura intacta durante la soldadura. Si se suelda material con un contenido de carbono excesivo, la permeabilidad al aire de la pieza soldada provocará la penetración del gas dentro y fuera de la tubería, lo que afectará la pureza, sequedad y limpieza del gas transportado, lo que tendrá graves consecuencias y afectará la calidad de la producción.
En resumen, para tuberías de transmisión de gas de alta pureza y gas especial, se debe utilizar una tubería de acero inoxidable de alta pureza con tratamiento especial, lo que hace que el sistema de tuberías de alta pureza (incluidas tuberías, accesorios de tuberías, válvulas, VMB, VMP) ocupe una misión vital en la distribución de gas de alta pureza.
Hora de publicación: 26 de noviembre de 2024